利用輻射流體動力學模擬最佳化 EUV 光源效率
為何重要
隨著 EUV 光刻日漸普及於高音量半導體製造，提升牆插效率並減少系統佔地面積顯得至關重要，這促使研究人員尋求固態 mid-infrared 雷射器作為現行 CO2 雷射的合適替代方案。
大阪大學及日本量子科學與技術研究所等研究團隊，利用經實驗驗證的 STAR-1D 輻射流體動力學程式碼，對超過 140,000 組雷射引數進行大規格網格探索，以最佳化 EUV 光源輸出。研究顯示，若改用實用性的 2 µm 固態驅動器，在全球最大值 5.63%（在 5.5 µm 處）的基準下，可達到 4.64% 的轉換效率，並與最新實驗結果高度吻合。此發現為開發高牆插效率且小型的 EUV 光源系統提供了具體技術指導。