ASML 選擇延續 LPP 路線，拒絕 Particle Accelerator 技術
為何重要
此決策意味著未來十年的光罩機技術發展核心仍將圍繞在 LPP 系統的改良，LPP 嚴苛的光真空路徑與功率限制是業界短期內無法繞過的硬體瓶頸。研究顯示，追求 FEL 的廠商將面臨極高且漫長的資本支出風險，而在資本效率與先進製程推進之間，ASML 天平正偏向現有的空間熱效率方案。
ASML 作為獨家 EUV 光罩機製造商，面對粒子加速器光源（FEL）技術的潛在優勢，選擇堅守現有的 LPP（Laser-Produced Plasma）路線。JPMorgan 分析認為，在雷射技術進步下，ASML 無需急於嘗試 Elon Musk 推廣的 FEL 方案。