中國高純石英產品通過晶圓製程裝置驗證,但 5N+ 純度深層石英坩堝仍被美國壟斷
為何重要
這顯示中國半導體供應鏈可以通過技術與製程補強來替代部分裝置耗材,但核心的矽晶圓生長材料仍受制於美國對特定礦區的資源壟斷。對產業而言,這代表「裝置本地化」與「核心礦資源獨立」是兩道截然不同的壁壘;儘管消費性邏輯晶圓產線的部分耗材可自給,但要完全跳脫限制,仍需突破基礎原礦的技術門檻。
中國高純石英業者江蘇太平洋石英取得供應鏈本地化關鍵突破,其產品已供貨晶圓製造裝置廠商並通過中國 DRAM 廠的認證。
- 向 Lam Research 和 Tokyo Electron 提供 LPCVD 擴散管等耗材,產品純度介於 4N5-5N(99.995%-99.999% SiO₂)之間。
- 近期通過主要中國 DRAM 廠(據稱為 CXMT)的 300 公分晶圓產線認證,使用自家高純石英砂製成的產品。
- 現階段高純石英礦資源須仰賴美國 Spruce Pine 的 Sibelco 與 The Quartz Corp,目前中國尚無法製造出用於生產 9N-11N 純度矽晶圓的坩堝。