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2nm 製程下重新定義實體製程界限

晶片 1 個來源 · 13 天前
為何重要

硬體製造的極限,正迫使半導體產業從「追求完美製造」轉向「系統層級的容錯與後 Silicon 驗證」,這將重塑晶片封裝、堆疊技術與後段測試裝置的商業價值鏈,並影響對晶圓代工服務與系統整合商的投資評估邏輯。

製程進入 2nm 以下節點後,試片探測、量測與製造流程的邊界已變得模糊,微小的物理損害或雜訊都可能導致晶圓報廢,業界必須改變驗證策略並重拾冗餘系統思維。 - Siemens EDA 匯入犧牲墊 ,因為直接以此探測 chiplet 可能損壞後續堆疊用的 bumps;而 Hybrid bonding 技術因極限難以探測,導致部分客戶在測試前即先進行堆疊。 - 製程變異與工具敏感度提升,Onto Innovation 表示現在能捕捉到「數百萬」個潛在缺陷,許多訊號實際反映的是本地製程波動而非導致故障的缺陷。 - 診斷良率的模式正從追蹤單一指標轉變為監控「多個資料點」的集合,工程師必須綜合判斷多種可能的互動因素來確認電路邏輯是否受損。

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首發 Semiconductor Engineering semiengineering.com 15:13